東海大学工学部 電気電子工学科 桑畑研究室

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■ 現在の研究課題。
1) 大気圧プラズマジェットの基礎特性に関する研究2) 大気圧プラズマジェットを用いた固体の表面改質に関する研究
3) 大気圧プラズマジェットを用いた水中の有害有機物の分解に関する研究
4) 大気圧ラインプラズマ発生装置の作製とその応用に関する研究
1) 空気中に噴出する大気圧プラズマジェットは、正イオン、電子、励起状態の原子・分子、活性酸素種(ROS)・活性窒素種(RNS)などを発生させますが、これらの発生条件や濃度分布は不明なことが多く、これらの基礎特性を調べています。
2) 大気圧プラズマジェットを固体(金属・半導体・ガラス・高分子樹脂)へ照射すると、固体の表面の性質が変化します。電気電子材料の表面の性質を変化させ、より有用な性質を作り出します。
3) 大気圧プラズマジェットを水へ照射すると、水中の有害な有機物が分解されます。分解を生じさせるプラズマの最適照射条件や、有機物の分解プロセスを調べています。
4) 大気圧プラズマジェットは、その形状からピンポイント照射には最適ですが、大面積への照射には不向きです。そのため、ライン(線)状にプラズマを発生できる装置を新たに開発し、それを用いた応用研究を進めています。
2) 大気圧プラズマジェットを固体(金属・半導体・ガラス・高分子樹脂)へ照射すると、固体の表面の性質が変化します。電気電子材料の表面の性質を変化させ、より有用な性質を作り出します。
3) 大気圧プラズマジェットを水へ照射すると、水中の有害な有機物が分解されます。分解を生じさせるプラズマの最適照射条件や、有機物の分解プロセスを調べています。
4) 大気圧プラズマジェットは、その形状からピンポイント照射には最適ですが、大面積への照射には不向きです。そのため、ライン(線)状にプラズマを発生できる装置を新たに開発し、それを用いた応用研究を進めています。

空気中に噴出するプラズマジェット 半導体へのプラズマジェット照射

レーザー顕微鏡観察から得られたプラズマジェット照射された金属表面の3D像
(青色の部分は周りよりも低い)
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