東海大学　工学部　電気電子工学科

桑畑研究室がセミコン・ジャパン2021に出展しました

◆2021.12.15

　12月15日(水)～17日(金)に東京ビッグサイト(東京都江東区)にて開催されたセミコン・ジャパン2021に、桑畑研究室が出展しました。
　セミコン・ジャパンは、半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT機器などのSMARTアプリケーションまでをカバーするエレクトロニクス製造サプライチェーン唯一の国際展示会です。出展企業数は国内外から約450社、三日間の来場者数は2万人以上です。
　桑畑周司准教授と研究室の全員(4年次生8名・大学院生2名)が参加し、研究成果(技術シーズ)を企業・他大学の方々に紹介しました。15日(水)は飴谷君・青木君と平島君(大学院生)が、16日(木)は小林君・近江君・稲木君と小川(嵩)君(大学院生)が、17日(金)は小川(力)君・山梨君・遠藤君が参加しました。内容は半導体デバイスの製造技術に関するものとして大気圧プラズマを用いた金属のエッチングについて、半導体デバイス製造工場での廃水処理に関するものとして大気圧プラズマを用いた廃水中の有機化合物の分解についてです。この他にも大気圧プラズマを用いたコンクリート同士の接着強度の向上について、大気圧プラズマを用いたアンモニアの合成についてもポスター展示しました。今後、産学連携・技術移転・共同研究等が期待されます。