東海大学　工学部　電気電子工学科

桑畑研究室がセミコン・ジャパン2022に出展しました

◆2022.12.14

　12月14日(水)～16日(金)に東京ビッグサイト(東京都江東区)にて開催されたセミコン・ジャパン2022に、桑畑研究室が出展しました。
　セミコン・ジャパンは、半導体産業における製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT機器などのSMARTアプリケーションまでをカバーするエレクトロニクス製造サプライチェーン唯一の国際展示会です。出展企業数は国内外から約650社、三日間の来場者数は約3万人です。
　桑畑周司准教授と研究室の4年次生全員(9名)が参加し、研究成果(技術シーズ)を企業・他大学の方々に紹介しました。14日(水)は荻野君・張君・山門君が、15日(木)は瀬口君・綱川君・望月君が、16日(金)は金子君・崎山君・堀井君が参加しました。内容は半導体デバイスの製造技術に関するものとして大気圧プラズマを用いた金属表面の酸化について、半導体デバイスの材料に関するものとして大気圧プラズマを用いたカーボンナノチューブ(CNT)シートの表面処理について、半導体デバイス製造工程での廃水処理に関するものとして大気圧プラズマを用いた廃水中の有機化合物の分解についてなどです。この他にも大気圧プラズマを用いたコンクリート表面の撥水剤の除去について、大気圧プラズマを用いたアンモニアの合成についてもポスター展示しました。今後、産学連携・技術移転・共同研究等が期待されます。