東海大学工学部 電気電子工学科
沖村研究室
 沖村 邦雄 （教授） 工学博士 |
■研究キーワード
電子材料薄膜、固体物性、薄膜堆積
本研究室では、電子材料薄膜の堆積とデバイス応用に関する研究を行っています。主に反応性スパッタ成膜法を用いて、数十から数百ナノメートルの厚さの酸化物薄膜を堆積して、電子的・光学的物性を評価し、新規な電子デバイス開発を目指しています。
現在、①透明導電性薄膜の堆積と透明デバイス作製、②機能性金属酸化物薄膜の堆積と新規スイッチングデバイス開発、③酸化物半導体によるショットキーバリアダイオードの製作などのテーマを進めています。
研究の成否だけではなく、電気電子技術者になるために必要な基礎的素養を習得していくことも重要な事項です。
